日前,山西烁科晶体有限公司告捷研制出12英寸(300mm)高纯半绝缘碳化硅单晶衬底,属大家首发。同时,还研制告捷12英寸(300mm)N型碳化硅单晶衬底。
烁科晶体位于山西转型综改示范区潇河新兴产业园区,是国内从事第三代半导体材料碳化硅分娩和研发的领军企业。连年来,该企业通过自主翻新和自主研发,全面掌捏了碳化硅滋长装备制造、高纯碳化硅粉料制备工艺,在国内当先完成高纯半绝缘碳化硅单晶衬底关节工艺时间攻关,先后攻克了大尺寸扩径工艺和低弱点N型衬底的滋长工艺,领有碳化硅粉料制备、单晶滋长、晶片加工等整套分娩线。这次12英寸碳化硅单晶衬底的告捷研制,好像进一步扩大单片晶圆上可用于芯片制造的面积,大幅进步及格芯片产量。在同等分娩条目下,权臣进步产量,裁减单元资本,进一步进步经济效益九游体育app(中国)官方网站,为碳化硅材料的更大界限愚弄提供可能。